Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 5000.1

Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 5000.1
Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 5000.1

Vakuumkammer: 3-Kammersystem mit Ein- und Ausschleusungskammer und Beschichtungskammer

Pumptechnik: 2 Turbopumpen, einstufige Vorpumpen

Beschichtungstechnologie: Sputtertechnik