Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 2004.4

Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 2004.4
Vakuumbeschichtungsanlage MAT Inline 2004.4

Vakuumkammer: 7-Kammersystem mit je zwei Einschleusungskammern und Ausschleusungskammern, sowie zwei Beschichtungskammern, getrennt durch eine Pufferkammer

Pumptechnik: Turbopumpen, einstufige Vorpumpen, mehrstufige Vorpumpen an der ersten und letzten Kammer

Beschichtungstechnologie: Sputtertechnik, Elektronenstrahlverdampfung